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    產品中心

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    當前位置:首頁產品中心有害氣體檢測儀便攜式有毒氣體檢測儀pGas200-ASM-SC-6s半導體車間有毒氣體快速檢測儀

    半導體車間有毒氣體快速檢測儀

    產品簡介

    pGas200-ASM-SC-6s 半導體車間有毒氣體快速檢測儀專為要求準確區別混合氣中不同組分的特定工業環境氣體分析或其它環境氣體探測應用而設計。對于混合氣有較高的分辨能力,可以作為高可靠性報警或普通分析用途應用。最多可配置6個用戶參數。充電電池供電,連續供電15-30Hr。

    產品型號:pGas200-ASM-SC-6s
    更新時間:2024-10-14
    廠商性質:生產廠家
    訪問量:17747
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    品牌Bigdipper/北斗星儀器產地類別國產
    測試氣體?硅烷、磷化氫、砷化氫、氯化物、氟化物、氫氣技術EC
    采樣方式擴散式采樣標準報警TWIN
    主機分辨率0.025%FS探頭準確度 ±1-2%讀數(一般)
    探頭響應時間<1min環境溫度-10℃~60℃
    環境濕度10%~90%R(無結露)采樣溫度 0-40℃
    采樣壓力<1.1 kgf/cm2供電電池6V充電蓄電池

    pGas200-ASM-SC-6s 半導體車間有毒氣體快速檢測儀是一款專門用于檢測半導體工廠中可燃、有毒、有害氣體泄漏的實用型產品,具有高靈敏度、高可靠性、低濃度檢測等特點,可檢測硅烷、磷化氫、砷化氫、氯化物、氟化物、氫氣、氨氣等上百種氣體,適用于半導體、液晶面板、光伏和電池制造等行業。電化學探頭直接采樣,配有方便背包、打印功能,對現場檢測、或實驗室檢測尤其方便適用。

    便攜式氣體分析儀應用:

    環境檢測

    污染源檢測

    工業工藝現場分析

    科學研究實驗室分析

    軍事毒氣安全

    勞動安全,施工安全

    化學泄露、事故分析


    pGas200-ASM-SC-6s 半導體車間有毒氣體快速檢測儀技術指標:

    BD4主機測試ADC分辨率: 0.025%FS

    電化學探頭準確度: ±1-2%讀數(一般)

    長期穩定性: +/-10% /年 (一般)

    分析器響應時間:< 10ms

    探頭響應時間:<1min

    儀器使用環境: 溫度:-10℃~60℃; 濕度:10%~90%R(無結露)

    儀器保存環境: 溫度: 0℃~50℃; 濕度:10%~80%R(無結露)

    電化學探頭直接采樣: 溫度: 0-40℃; 壓力:<1.1 kgf/cm2

    供電: 6V充電蓄電池

    連續使用時間: >24Hr/每次充電; 電池置放時間1周。


    便攜式有毒氣體快速檢測儀測試參數及技術指標:

    技術參數

    技術

    說明

    PH3-4PH:0.05-20ppm

    SiH4-4SL:0.05-50ppm

    AsH3-3E1:0.015-1ppm

    Chlorides: 0.7-30ppm

    Fluorides: 0.25-10ppm

    H2:0-4%VOl

    EC

    EC

    EC

    EC

    EC

    EC

    擴散式采樣半導體車間全毒氣報警有一定的區辯能力.

    ChloridesHCl,SiH2Cl2, S2Cl2, GeCl4, PCl3, PCl5, POCl3, SiCl4, TiCl4, SiHCl3, C3Cl3N3都有響應;

    FluoridesHF,COF2,S2F10,SO2F2,SnF4,C3F3N3都有響應; Gas200通過標定系統甚至可能對H2B6.GeH4,H2Se進行定性定量探測.


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